ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J – Описание продукта

ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J представляет собой высокоточный лазерный измерительный интерферометр (Laser Measurement Interferometer) с указанием конкретной заводской конфигурации или комплектации. Продукт ZMI-2002 — это серийное устройство для прецизионного измерения линейных перемещений, положения, скорости и вибрации, основанное на технологии гетеродинной лазерной интерферометрии. Полный номер 8020-0211-1-J определяет точный набор опций, датчиков и характеристик данного экземпляра. Техническую информацию можно уточнить на ресурсе: ZYGO ZMI-2002.

Технические параметры

• Тип устройства: Лазерный интерферометр для измерения перемещений (Laser Displacement Interferometer). Серия ZMI.

• Принцип измерения: Гетеродинная интерферометрия, обеспечивающая высокую точность, разрешение и скорость. Измеряет сдвиг фазы между опорным и измерительным лучами.

• Диапазон измерения: Теоретически неограничен (зависит от условий среды и длины кабеля), но на практике — десятки метров с сохранением нанометрической точности.

• Точность и разрешение: Высокая точность, определяемая стабильностью длины волны лазера (например, ±0.1 ppm). Сверхвысокое разрешение до долей нанометра.

• Скорость измерения: Очень высокая частота дискретизации (до нескольких мегагерц), что позволяет измерять динамические процессы и высокочастотные вибрации.

• Лазерный источник: Встроенный стабилизированный лазер HeNe (гелий-неоновый) с длиной волны 632.8 нм.

• Выходные сигналы и интерфейсы: Аналоговые выходы (синус/косинус, 1 В размах), цифровые квадратурные сигналы, высокоскоростные цифровые интерфейсы (например, Zygo ZMI-4xxx для прямого подключения к PCI-карте). Комплектация 8020-0211-1-J определяет конкретный набор выходов.

• Компоненты: В базовый комплект обычно входят интерферометрическая головка (оптический датчик), кабели, отражатель (угловой куб или плоское зеркало) и блок электроники.

Преимущества и особенности
Главным преимуществом интерферометра ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J является его эталонная точность, стабильность и возможность абсолютных измерений. Он является промышленным стандартом для калибровки высокоточных станков (ЧПУ, КИМ), измерения геометрических ошибок, контроля вибрации в научных установках и на производстве. Технология гетеродинного детектирования делает его нечувствительным к изменениям интенсивности лазерного луча и позволяет измерять как очень медленные, так и чрезвычайно быстрые перемещения. Устройство обеспечивает долгосрочную стабильность, критически важную для метрологии. Конкретная комплектация 8020-0211-1-J оптимизирует его для определенного класса задач.

Примеры применения в различных областях

• Калибровка станков с ЧПУ и координатно-измерительных машин (КИМ): Измерение позиционной точности, прямолинейности, угла рыскания, тангажа.

• Полупроводниковая промышленность: Контроль и калибровка степперов и сканеров для фотолитографии.

• Прецизионная механика и аэрокосмическая отрасль: Измерение деформаций крупногабаритных конструкций, контроль сборки.

• Научные исследования: Измерения в физике высоких энергий (например, позиционирование детекторов), контроль вибрации в гравитационно-волновых обсерваториях, метрология в национальных институтах стандартов.

Сравнение с аналогами конкурентов
Интерферометр ZYGO ZMI-2002 конкурирует с аналогичными высокоточными лазерными системами измерения перемещений от компаний Keysight Technologies (ранее Agilent/HP), Renishaw (системы XL), SIOS Messtechnik и API (Automated Precision Inc.). Продукты Zygo, особенно серии ZMI, традиционно занимают лидирующие позиции по сочетанию максимального разрешения, высокой скорости и надежности. Выбор между ними часто зависит от специфики применения, требуемых интерфейсов и существующей инфраструктуры на объекте.

Рекомендации по выбору и меры предосторожности

1. Анализ требований к измерениям: Четко определите требуемые параметры: максимальная скорость перемещения, необходимая точность и разрешение, динамический диапазон, допустимая частота дискретизации. Это определит необходимость конкретной комплектации 8020-0211-1-J.

2. Условия окружающей среды: Система требует стабильных условий. Температура, давление, влажность и влагосодержание воздуха должны контролироваться или компенсироваться, так как они влияют на показатель преломления воздуха и, следовательно, на длину волны лазера. Для длинных трасс (>1 м) необходима компенсация среды (компенсатор воздуха).

3. Квалификация персонала: Настройка, юстировка и эксплуатация системы требуют высокой квалификации и понимания основ интерферометрии.

4. Монтаж и виброизоляция: Измерительная головка и оптические компоненты должны быть установлены на массивную, виброизолированную платформу. Луч должен быть защищен от потоков воздуха и пыли.

5. Интеграция в систему управления: Для автоматизации измерений необходим совместимый контроллер или плата сбора данных (например, Zygo ZMI-4xxx), способная обрабатывать высокоскоростные цифровые или аналоговые сигналы с ZMI-2002.

6. Сервис и калибровка: Оборудование такого класса требует регулярной проверки и калибровки в авторизованном сервисном центре. Приобретение устройства с полным номером ZMI-2002 8020-0211-1-J у официального дистрибьютора гарантирует получение именно той конфигурации, которая прошла заводские испытания и калибровку.

8312

8311 DCSPLC

9771-210 DCSPLC

4351B PLC

TRICONEX 3008 

SCHNEIDER 1405D095300S

SCHNEIDER 140SDI95300S 

140SAI94000S 

140CPU67160S  SCHNEISER

SCHNEISER 140CPU65160S 

SCHNEISER 140N0C77100