ZYGO ZMI-4004 — это 4-осевой модуль измерения ZMI™ серии, предназначенный для нанометровых измерений смещений и позиционирования в сложных многовариантных системах SIL 2/IEC 61508. Документация и технические данные ZYGO ZMI-4004 доступны по ссылке [вставьте вашу ссылку здесь]. ZYGO ZMI-4004 работает на платформе 6U VME, обеспечивая разрешение 0.31 нм и максимальную скорость ±2.1 м/с, а также поддерживает до 64 осей при модульном расширении в шасси VME. ZYGO ZMI-4004 оснащен функцией компенсации циклических ошибок (Cyclic Error Correction) для удаления нелинейных искажений, критических для субмикронной точности. ZYGO ZMI-4004 совместим с лазерами ZYGO 7702/7712/7714 и интегрируется с интерфейсами PLC/DCS через VME High Speed Serial (10 МГц). ZYGO ZMI-4004 — это ключевое решение для полупроводниковой литографии, аэрокосмической механики и точного позиционирования, где требуется стабильность ±0.5 ppb (3σ) за час. ZYGO ZMI-4004 выдерживает температуры от 10 °C до +40 °C и весит 0.8 кг, адаптируясь к промышленным и чистым комнатным условиям.
- Масштабируемость: ZYGO ZMI-4004 поддерживает до 64 осей через VME-шаси, снижая стоимость за ось в многовариантных системах.
- Субмикронная точность: Разрешение 0.31 нм и компенсация циклических ошибок делают ZYGO ZMI-4004 идеальным для литографии и позиционирования.
- Высокая стабильность: Частотная стабильность ±0.5 ppb (3σ) за час обеспечивает надежность в длительных сессиях.
- Легкая интеграция: Совместимость с лазерами ZYGO и интерфейсами VME High Speed Serial упрощает внедрение ZYGO ZMI-4004 в автоматизированные линии.
- Компактность: Вес 0.8 кг и формат 6U VME позволяют монтировать ZYGO ZMI-4004 в ограниченном пространстве.
- Полупроводниковая литография: ZYGO ZMI-4004 измеряет смещения ретикул/плёнок с разрешением 0.31 нм, контролируя точность ±10 нм в линиях 5 нм.
- Аэрокосмическая механика: ZYGO ZMI-4004 калибрует орбитальные телескопы и стабилизаторы зеркал, обеспечивая угловую точность ±0.1 arc sec/°C.
- Точное позиционирование: ZYGO ZMI-4004 используется в气浮ных платформах для нанометрового позиционирования (≤5 нм) в микроэлектронике.
- Научные исследования: ZYGO ZMI-4004 измеряет дисплейсменты в экспериментах по квантовой физике и нанотехнологиям.
- Для 4–64 осей измерений выбирайте ZYGO ZMI-4004 за модульность VME и совместимость с лазерами ZYGO.
- Для субмикронной точности (≤0.5 нм) предпочитайте ZYGO ZMI-4004 за компенсацию циклических ошибок.
- Для литографии и чистой комнаты (ISO 5–8) используйте ZYGO ZMI-4004 с температурным диапазоном 10–40 °C и влажностью ≤80 % RH.
- Монтаж и настройку ZYGO ZMI-4004 должен выполнять квалифицированный персонал (см. [вставьте вашу ссылку здесь]).
- Перед запуском проверяйте питание 12 В DC и отсутствие вибраций >0.1 Гц, чтобы избежать искажений сигнала.
- Для работы с лазерами ZYGO 7712 используйте сертифицированные ретрофлекторы и соблюдайте требования к стабильности температуры.
SCHNEISER 140XBP01000C
SCHNEISER 140XBP01000
SCHNEISER 140XBP00600
SCHNEISER 140XBP00400
SCHNEISER 140XBP00300
140XBF00200 SCHNEISER
SCHNEISER 140RT85410
SCHNEISER 140HI340000
140EHC10500
SCHNEISER 140HLI34000
SCHNEISER 140EHC20200
SCHNEISER 140MM09000
ПОЧТОВЫЙ ЯЩИКsales@cxplc.com
<
