ZYGO ZMI-2002 8020-0211 – Описание продукта

ZYGO ZMI-2002 8020-0211 представляет собой комплектацию высокоточного лазерного измерительного интерферометра серии ZMI-2002 производства компании Zygo Corporation. Это устройство является эталонным инструментом для прецизионных измерений линейных перемещений, скорости, вибрации и параметров позиционирования в промышленных и научных приложениях. Комплектация 8020-0211 определяет конкретный набор опций и характеристик базовой модели ZMI-2002. Технические детали доступны на ресурсе: ZYGO ZMI-2002.

Технические параметры

• Тип устройства: Лазерный интерферометр для измерения перемещений (Laser Displacement Interferometer), серия ZMI-2002.

• Принцип измерения: Гетеродинная лазерная интерферометрия. Используется стабилизированный гелий-неоновый лазер (HeNe, 632.8 нм) для создания двух лучей (опорного и измерительного). Измерение основано на анализе разности фаз между ними, что обеспечивает высочайшую точность.

• Диапазон измерения: Практически неограничен по линейному перемещению (ограничен длиной оптического тракта и условиями среды), что позволяет измерять перемещения от нанометров до десятков метров.

• Точность и разрешение: Исключительно высокая точность, определяемая стабильностью длины волны лазера (порядка ±0.1 части на миллион). Разрешение достигает пикометрового (10⁻¹² м) уровня.

• Скорость измерения: Очень высокая частота дискретизации (до нескольких мегагерц), что позволяет захватывать динамические процессы и высокочастотные вибрации.

• Выходные сигналы: Предоставляет аналоговые сигналы (синус/косинус, 1 В размах) и/или цифровые квадратурные сигналы (TTL) для прямого подключения к высокоскоростным счетным платам или специализированным контроллерам (например, серии Zygo ZMI-4xxx).

• Комплектация (8020-0211): Включает в себя интерферометрическую головку (оптический блок), блок электроники с лазерным источником, необходимые кабели и, как правило, отражатель (угловой куб или плоское зеркало).

Преимущества и особенности
Ключевым преимуществом интерферометра ZYGO ZMI-2002 8020-0211 является его непревзойденная метрологическая точность, стабильность и надежность, что делает его промышленным стандартом для калибровки и верификации высокоточного оборудования. Он обеспечивает абсолютные измерения, привязанные к длине волны лазера, которая является фундаментальной и стабильной физической константой. Технология гетеродинного детектирования обеспечивает иммунитет к колебаниям интенсивности лазерного луча. Это устройство критически важно для задач, где погрешность обычных датчиков перемещения (индуктивных, емкостных, оптических триангуляционных) неприемлема.

Примеры применения в различных областях

• Калибровка и верификация станков с ЧПУ и координатно-измерительных машин (КИМ): Измерение линейных позиционных ошибок, прямолинейности, углов рыскания и тангажа.

• Полупроводниковая промышленность: Калибровка и контроль точности шаговых двигателей и сканеров в фотолитографических установках.

• Прецизионная механика и оптика: Измерение деформаций крупных конструкций в аэрокосмической отрасли, контроль сборки телескопов и спутников.

• Научные исследования: Позиционирование в экспериментах физики высоких энергий (коллайдеры), метрология в национальных институтах стандартов, измерение вибраций в гравитационно-волновых детекторах.

Сравнение с аналогами конкурентов
Интерферометр ZYGO ZMI-2002 конкурирует с аналогичными системами от мировых лидеров в области прецизионной лазерной метрологии, таких как Keysight Technologies (серии 5530, ранее Agilent/HP), Renishaw (системы XL-80), SIOS Messtechnik и API (Automated Precision Inc.). Продукты Zygo традиционно выделяются максимальным разрешением и высокой скоростью измерений, особенно в динамических приложениях. Выбор часто зависит от требуемых интерфейсов, программного обеспечения и специфики интеграции в существующую измерительную цепочку.

Рекомендации по выбору и меры предосторожности

1. Обоснование необходимости: Применение системы такого высокого класса и стоимости (ZYGO ZMI-2002 8020-0211) должно быть строго обосновано требованиями к точности, которые не могут быть удовлетворены более простыми и дешевыми средствами измерения.

2. Контроль условий окружающей среды: Точность измерений напрямую зависит от стабильности параметров воздуха (температура, давление, влажность, содержание CO₂), влияющих на показатель преломления. Для трасс длиной более 1 метра обязательно использование компенсатора среды (Environmental Compensation Unit).

3. Профессиональный монтаж и юстировка: Установка оптических компонентов требует высокой квалификации, точной юстировки и использования виброизолированных оптических столов. Неправильная настройка приведет к потере сигнала и неверным измерениям.

4. Интеграция и сбор данных: Для работы с аналоговыми выходами необходимы высококачественные АЦП с высокой частотой дискретизации и помехозащищенными кабелями. Цифровые интерфейсы требуют совместимых высокоскоростных счетных плат или контроллеров.

5. Квалификация персонала и сервис: Эксплуатация и обслуживание системы требуют специального обучения. Калибровка и ремонт должны проводиться только авторизованными сервисными центрами Zygo.

6. Полный учет стоимости владения (TCO): Помимо стоимости самого прибора ZMI-2002 8020-0211, необходимо учитывать затраты на компенсатор среды, контроллеры сбора данных, создание стабильных лабораторных условий, обучение персонала и регулярную метрологическую аттестацию.

SCHNEISER 140CRA21220I/0

SCHNEISER 140CEA21210I/0 

140CEA21120I/0 PLC

140CRA21110I/0 SCHNEISER

SCHNEISER 140CRA93101I/0

140CRA93200I/0 

140CRA93100 I/0 DCSPLC

140CRP93200I/0 DCSPLC

SCHNEISER 140CRP93100I/0

SCHNEISER 140XCA71709

140XCA71706 DCSPLC

SCHNEISER 140XCA71703 

SCHNEISER 140XBE10000 

SCHNEISER 140XBP01600